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由于光纤传感器应用的广泛性及其广阔的市场,其研究和开发在范围内引起了高度的重视,各发达国家更是竞相研究开发并引起激烈的竞争。美国是研究光纤传感器起步最早、水平很高的国家,在军事和民用领域的应用方面,其进展都十分迅速。在军事应用方面,三同轴电容传感器,他们研究和开发主要包括:水下探测的光纤传感器,用于航空监测的光纤传感器,电容位移传感器,光纤陀螺,用于核辐射检测的光纤传感器等。
电容式压力传感器的温度特性好,所以国内对其温度效应的研究很少。但随着MEMS技术的发展,人们对传感器的性能要求越来越高,传感器,传感器的温度特性也开始受到人们的重视。接触式或非接触式压力传感器都存在一定的温度效应,类三同轴电容传感器,如果能温度影响,保证良好的压力特性,将使得传感器具有更良好的应用前景。介绍基于SOI硅/硅键合工艺的接触电容式高温压力传感器的结构及测试装置,通过对传感器真空和大气环境下的高温测试来分析温度对传感器测试结果的影响。
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